光刻機制冷機組靠譜操作規范及注意事項

光刻機制冷機組靠譜操作規范及注意事項

　　光刻機制冷機組這是可以提供恒定溫度，電流和壓力的冷卻水設備使用時(shí)，應注意以下事項。

　　1.在安裝過(guò)程中，請檢查機器是否損壞，并選擇合適的位置進(jìn)行安裝和以后的維護。

　　2.設備的安裝地點(diǎn)須是地板，安裝墊或地基，且水平度應在范圍之內，并且能夠承受設備的工作重量。

　　3.單元應放置在室溫下，單元周?chē)蜕戏綉凶銐虻目臻g進(jìn)行日常維護。

　　4.在單元的一端，應保留用于清潔冷凝器管束的抽氣空間，也可以使用門(mén)的開(kāi)口或其他位置合適的孔。

　　5.當設備以較大功率運行時(shí)，選擇具有適當管徑的水管，冷卻系統和冷水系統，并正確連接它們。

　　6.對于普通應用，通過(guò)蒸發(fā)器和冷凝器的水流速應在范圍之間。

　　7.在負載下，水流均應保持穩定。

　　8.所有冷凍水和冷卻水管應按照常規方法進(jìn)行設計和安裝。冷凍水泵應位于設備的進(jìn)水管上，以確保設備中的正壓和流量。配管時(shí)，應設置減震管，以確保適當的彈性，并在水泵停止時(shí)防止蒸發(fā)器的水排出。

　　9.應獨立于組光刻機制冷機組牢固地支撐管道，以避免對組光刻機制冷機組的組件施加壓力。吊架的位置應便于管道對齊。

　　10.為了減少噪音和振動(dòng)，較好在管道上安裝振動(dòng)隔離器。

　　11.為了經(jīng)濟有效地使用第光刻機制冷機組組，建議請水處理專(zhuān)家分析蒸發(fā)器和冷凝器的水質(zhì)。水質(zhì)差會(huì )導致結垢，影響傳熱，產(chǎn)生腐蝕沉淀，滋生有機物，影響裝置的性能并增加運行和維護成本。

　　12.一般來(lái)說(shuō)，正確的水處理和定期清潔管束可以保持其良好性能。如果不能通過(guò)適當的方法改善現有的水質(zhì)狀況，則須使管束具有較大的結垢系數或使用特殊的結構材料。

在操作光刻機制冷機組時(shí)，請注意上述事項，這一定會(huì )使您受益。