光刻機冷卻機組保養維護須知

光刻機冷卻機組保養維護須知

　　如今光刻機冷卻機組的使用越來(lái)越廣泛，在使用過(guò)程中，如何對光刻機冷卻機組進(jìn)行保養和維護，關(guān)系著(zhù)設備的使用壽命以及是否能夠提高生產(chǎn)力的關(guān)鍵所在。

　　對于企業(yè)來(lái)說(shuō)，設備保養負責人應該制定每月的定期檢查和保養計劃。其內容如下：檢查設備各個(gè)線(xiàn)路連接是否正常，以及電源線(xiàn)是否老化，檢查電源是否缺相。并且要做好檢查結果，對于有問(wèn)題的應及時(shí)上報，并且計劃完善對光刻機冷卻機組線(xiàn)路的檢查處理工作。另外在電氣方面，還應該觀(guān)察和記錄設備運轉時(shí)的電流。

　　除了定期觀(guān)察和記錄運轉電流之外，還應該對系統的壓力和溫度控制進(jìn)行觀(guān)察和記錄。做好數據記錄和統計工作，能夠通過(guò)數據對比有效的發(fā)現問(wèn)題，從而解決問(wèn)題。

另外在對光刻機冷卻機組的電氣檢查之外，還應該檢查油位，冷媒系統，循環(huán)水水質(zhì)等。其中較為常見(jiàn)的故障往往出現在循環(huán)水的問(wèn)題，當循環(huán)水的水質(zhì)多時(shí)，往往會(huì )造成堵塞，此時(shí)除了要清理系統內水質(zhì)雜志之外，還應該更換循環(huán)水。檢查冷媒系統時(shí)，應該著(zhù)重檢測冷媒系統的量是否充足。

　　企業(yè)對于操作光刻機冷卻機組的人員應該進(jìn)行培訓工作，應該讓員工在通讀光刻機冷卻機組說(shuō)明書(shū)的前提下讓其上崗。并且在學(xué)習中，應著(zhù)重對其進(jìn)行光刻機冷卻機組的保養和維護工作的培訓和講解。

　　如有必要，可以向廠(chǎng)商申請專(zhuān)門(mén)的售后服務(wù)人員，來(lái)對員工進(jìn)行培訓教育。做好對光刻機冷卻機組做保養和維護其實(shí)基本的是要培養員工的保養和維護的意識，意識有了，然后就是增加員工的執行力。做保養維護工作，重要的是持之以恒，將設備的故障率降低，就等于創(chuàng )造了效益和價(jià)值。