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簡(jiǎn)要描述：元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導體電子元件的制造中，IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度（-85℃至+ 250℃）下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。光刻機溫度控制裝置該如何選型
產(chǎn)品型號：AES-4535廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新時(shí)間：2024-01-07訪(fǎng) 問(wèn) 量：1937| 品牌 | LNEYA/無(wú)錫冠亞 | 冷卻方式 | 風(fēng)冷式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
| 儀器種類(lèi) | 一體式 | 應用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,制藥,汽車(chē) |
| 型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉換時(shí)間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統壓力顯示 | 制冷系統壓力采用指針式壓力表實(shí)現（高壓、低壓） 循環(huán)系統壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門(mén)子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設備內部溫度反饋 | 設備出口溫度、制冷系統冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機 | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線(xiàn)顯示EXCEL 數據導出 | |||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過(guò)載保護；高壓壓力開(kāi)關(guān)，過(guò)載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機采用德國EBM軸流風(fēng)機 | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標準顏色7035） | |||||
| 溫度擴展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機溫度控制裝置該如何選型
光刻機溫度控制裝置該如何選型
如何選擇合適的工業(yè)冷水機組，在機組的設計上又應該注意哪些方面呢?
1. 使用光刻機溫度控制裝置還是水冷式冷水機
工業(yè)冷水機組的冷凝方式分為風(fēng)冷式和水冷式，對應的設備也常被稱(chēng)為光刻機溫度控制裝置組和水冷式工業(yè)冷水機組，光刻機溫度控制裝置組的選型先要考慮是否適合采用風(fēng)冷的冷凝方式
2. 確定制冷量需求
需要計算待控溫設備實(shí)際應用所需要的制冷量是多少，通?？梢愿鶕蛻?hù)所提供的制冷量或壓縮機功率要求來(lái)直接確定，也可以根據實(shí)際工藝情況和經(jīng)驗來(lái)進(jìn)行估算，需要注意的是通常所說(shuō)光刻機溫度控制裝置組的制冷量指的是額定制冷量，還需要結合實(shí)際環(huán)境溫度等因素來(lái)計算。
3. 蒸發(fā)器的選擇
蒸發(fā)器類(lèi)型：盤(pán)管式蒸發(fā)器 / 殼管式蒸發(fā)器 / 板式換熱器
蒸發(fā)器材質(zhì): 被冷卻液體（載冷劑）是否有耐酸耐堿等防腐要求，需要采用不銹鋼、鈦管等特殊材料
4. 循環(huán)水泵的選擇
應結合應用設備的管道、安裝距離、控溫精度等因素來(lái)確定光刻機溫度控制裝置組中冷凍水循環(huán)泵的流量及揚程。
光刻機溫度控制裝置的選型還有其他許多需要注意的方面，如供電電壓、冷媒是否有要求等等，在此不再一一贅述。
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